三强联手！高端光刻机国产化可期？

近日，北京国望光学科技有限公司增资项目在北京产权交易所完成。

通过此次增资，国望光学引入中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（简称“长春光机所”）和中国科学院上海光学精密机械研究所（简称：上海光机所）作为战略投资者，两家机构以无形资产作价10亿元入股。据北京商报报道，这意味着亦庄在推动国产光刻机核心部件研发和生产方面迈出实质性步伐。

本次涉及的三家机构国望光学、长春光机所、上海光机所在光刻机研发上都不是“泛泛之辈”，而国望光学通过此次增资壮大了公司的技术实力。

国望光学

国望光学2018年6月落户亦庄北京经济技术开发区，是北京亦庄国际投资发展有限公司的全资子公司，注册资本20亿元。公司定位为光刻机核心部件生产商，开展光刻机曝光光学系统、高端镜头、光电仪器、光学加工与检测设备的研发生产。

通过北交所增资就是要寻找技术实力一流的战略投资方，推动完成国家重大专项《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目中高端光刻机整机研发和量产。

长春光机所

长春光机所始建于1952年，由中科院长春光机所与中科院长春物理所于1999年整合而成，是新中国在光学领域建立的第一个研究所，主要从事发光学、应用光学、光学工程、精密机械与仪器的研发生产。长春光机所也是牵头承担的国家科技重大专项02专项——“极紫外光刻关键技术研究”项目的单位。

极紫外光刻是一种以13.5nm的EUV光为工作波长的投影光刻技术，是传统投影光刻技术向更短波长的延伸，正处于产业化的临界点。

上海光机所

上海光机所成立于1964年5月，是我国建立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所。

作为国望光学所引入的战略投资方之一，其联合参与研发的国产光刻机已于2017年首次曝光成功，且曝光光学系统在整机环境下已通过验收测试，目前90纳米国产高端光刻机已顺利验收交付。

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