洛阳中硅高科“点沙成金”

中硅高科电子级多晶硅产品检测现场

日前，记者走进洛阳中硅高科技有限公司电子级多晶硅生产现场看到，一根根闪着光泽的高纯硅棒依次下线。它们的目的地，是国内知名半导体制造企业试用一线。

国内最早实现百吨级多晶硅规模化生产的中硅高科，如今在创新发展上有了新的担当和作为。

“我们的电子级多晶硅已实现稳产，高纯四氯化硅国内市场份额已达到30%，电子级三氯氢硅市场份额在10%以上，打破以往相关产品的进口垄断。”说起企业近年的升级步伐，中硅高科相关负责人话语中带着自信。

从再普通不过的沙子熔炼制成光伏多晶硅，甚至更高纯度的用于芯片等制造的电子级多晶硅，是该企业产品沿着产业链条“点沙成金”的转变之路。

光伏用多晶硅纯度可达到99.99999%，业内俗称“7N”，而电子级多晶硅须在“9N”以上，纯度标准需要再度提升百倍以上！

“别小看这小数点后的细微差别，推向市场附加值差别巨大。”该负责人介绍，目前，每吨光伏多晶硅市场价为6万余元，电子级多晶硅市场价则在20万元以上。

电子级多晶硅和相关副产品硅基电子气体是极大规模集成电路最重要的基础原材料。其中，电子级多晶硅是芯片的重要载体，硅基电子气体用于电路芯片构造和塑形，其质量直接影响半导体集成电路芯片的质量和性能。

近年，太阳能光伏产业的发展，造就了中国多晶硅产业的“神话”，我国一举成为世界第一的多晶硅生产国。然而，高端的电子级多晶硅和相关副产品硅基电子气体高度依赖进口，严重影响电子芯片产业自主创新和国产化。

瞄准该领域国产化空白，郑洛新自创区产业集群专项“电子级高纯多晶硅与硅基电子气体研发及产业化”课题启动。

依托该课题，中硅高科开展了电子级多晶硅专用还原炉装备、还原尾气干法回收及高纯氢气深度净化技术等研发，开发了硅基电子气体生产、密闭在线取样、硅基电子气体检测等工艺，最终建成了年产1000吨电子级多晶硅生产线和年产3100吨的硅基电子气体生产线，打破了相关产品的国外技术垄断，实现产品在下游客户中销售或试用。

自项目实施以来，中硅高科相关高附加值产品销售收入已超过8500万元，新的业务支撑点正在形成。

近几年，随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，高纯硅基材料国产化已是大势所趋，未来我国硅基材料需求面临十年以上的高速增长。

“未来，我们将持续推进电子级高纯多晶硅的下游试用、产品质量优化及改进工作，让更多‘中国芯’用上‘中国料’，助力我国集成电路产业自主创新、转型升级。”该负责人说。（洛阳日报首席记者 张锐鑫 通讯员 张征 文/图）