荷兰ASML的EUV芯片光刻机内部工作流程，像科幻片一样震撼！

8月10日

荷兰阿斯麦(ASML)公司的光刻机作为世界上最贵最精密的仪器，相信大家都有耳闻，它是加工芯片的设备。其最先进的EUV(极紫外光)光刻机已经能够制造7纳米以下制程的芯片，据说一套最先进的7纳米EUV光刻机价格高达1.2亿美元，比一架波音737都贵。

下面是最近ASML公布的极紫外光光刻机内部加工时的镜头，十分震撼：

在这台光刻机中，每秒在真空环境中，从底部容器流出5万滴融化的锡液，一对激光束照射每一滴液体产生等离子体，释放出更短的波长，超高精度的反射镜引导光线....7纳米极紫外线光刻机，分为13个系统，3万个分件，作动时每一分都要精准。

每台光刻机的装配大约需要50000个零件左右，像德国蔡司的光学设备，美国Cymer的光源都是阿斯麦的上游供应商。阿斯麦创立于1984年，是从飞利浦独立出来的一个半导体设备制造商，，总部位于荷兰费尔德霍芬。

接下来我们走进ASML光刻机工厂看看世界上最贵精密仪器出厂地