微导纳米：iTronix系列CVD系统的部分产品已在试样验证

集微网消息，近日，有投资者在投资者互动平台提问：公司是否有生产用于半导体的pecvd设备?

微导纳米(688147.SH)5月8日在投资者互动平台表示，公司半导体领域iTronix系列CVD系统，系公司基于客户关键工艺开发的战略需求，正在开发的新产品系列，适用于沉积氧化物、氮化物等薄膜材料。产品可用于芯片制造钝化层、扩散阻挡层、介电层、硬掩膜层与高级图案化层、电容覆盖层等应用领域。截至目前，该系列部分产品已经处于与客户试样验证阶段。