崇明这家企业，了不起！

近年来，我国集成电路芯片、太阳能光伏电池等高科技行业发展迅猛，因此我国对半导体设备需求不断增加。但由于国外对相关专利技术的封锁，目前我国在第一代和第二代半导体技术产品方面仍以进口为主。近日，记者了解到，在崇明有一家企业，正致力于将这项“卡脖子”技术国产化！

在位于长兴海洋装备产业园的上海良薇机电工程有限公司的测试车间内，一台测试设备正在运行。设备自动控制气体流向，对研发产品进行温度测试、疲劳测试、腐蚀性测试等测试，并配合控制系统可以实时观测并记录测试数据。

“现在测试的这个产品是公司的核心产品之一RC-VP系列蒸汽输送设备。其作用是通过对温度、压力、液位的精确控制，从而使气体稳定准确地输出。”上海良薇机电工程有限公司技术总监纪雪峰告诉记者，“在半导体生产环节中，延伸、掺和、洗涤、遮掩膜形成等过程中会使用到一些化学气体，为了确保半导体制作的良品率，其中关键一步是将气体通过设备精确地分配，我们公司的这个产品是半导体生产中不可缺少的零部件之一。”

公司董事长陈亮告诉记者，在以前这些产品专利都是国外的，国内使用不仅购买成本高，更关键的是设备一旦出现损坏，维修极其不便，严重影响生产效率。“现在我们将这个关键产品国产化了，为国内厂商节省了大量成本和时间，并且设备的效率和性能都是国际前列水准，在蒸汽输送设备这一块已经完全攻克了国外的技术封锁。”如今，华润重庆微电子、上海新昇半导体等国内半导体龙头企业都已经用上了“良薇机电”生产的这套国产设备。

谈起自己为何要从事这一行业，陈亮表示：“当初看到半导体高新技术一直被国外封锁，国内用着这些贵且落后于最新技术的产品，心里很不是滋味，就想着终有一天我们要靠自己的力量把这些‘卡脖子’的技术难题给攻克！”如今，陈亮用10年的时间完成了自己的理想。

据悉，上海良薇机电工程有限公司成立于2013年，是一家专业从事洁净气体及化学品供应系统的高新科技型企业。公司从成立之初就开始研发并生产制作特殊气体供应设备，先后通过了ISO9001质量管理体系、半导体生产装置的环境、健康、安全SEMI S2认证等，并在2022年一年间取得5个新型专利证书，荣获上海市高新技术企业和上海市创新中小企业的称号。

陈亮表示，近年来随着国家对半导体行业的大力扶持，不少企业已经开始对这项新兴产业的相关技术进行研发和生产，但目前所有的设备加工及制作工艺都参考国外厂家的工艺标准。“对此，我们在生产过程中已经部分开始优化，希望在各项环节上找到更优方法，制定新的行业标准，让‘崇明制造’惊艳全国，走向世界。”

近年来，崇明区大力支持企业科技创新，落实高新技术企业认定奖励、发明专利补助等一系列政策，近三年来累计认定高新技术企业833家。未来，崇明还将持续优化营商环境，通过“人社政策您点单”等活动，帮助企业解读政策，答疑解惑，在办事上少走弯路，加强对高新技术企业的培育，助推实体产业做大做强。‍

记者：黄稼轩；摄影：沈嘉俊

编辑：陈锦源

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