鹏城半导体 热丝法CVD金刚石设备 生产厂家《台风快讯》

金刚石是一种典型的多功能极限材料，在电学、光学、热学、力学声学和电化学方面具有优异性能，在众多高新技术领域具有广阔的应用前景。20世纪80年代之后，化学气相沉积（CVD）技术制备金刚石涂层促进了其广泛的应用，引发了席卷全球的“金刚石热”。90年代后，随着金刚石涂层工业化制备技术的出现，金刚石涂层产业开萌生。金刚石涂层工具、金刚石热沉、金刚石光学窗口、金刚石膜基探测器及传感器和金刚石电极等一系列高技术附加值产品开始进入市场，极大地推动了精密加工、生物医学、电化学、传感与探测和半导体等领域的产业升级。

21世纪初我国开始出现CVD金刚石产业，目前主要涵盖硬质合金基金刚石涂层工具和模具，工具级、热沉级和光学级金刚石自支撑膜，并呈现出良好的发展势头。并且，我国的金刚石涂层研究一直受到国家有高度关注。国家“863”计划和国家自然科学基金均持续资助过相关研究项目。在“八五”、“九五”、“十一五”期间均围绕金刚石涂层方面设立重大关键技术项目和关键材料专项，取得了重大成果。

热丝法CVD金刚石设备

鹏城半导体技术（深圳）有限公司（简称：鹏城半导体）研发设计制造了热丝CVD金刚石设备，分为实验型设备和生产型设备两类。

设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜的研发和生产。可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产。

可以制造大尺寸金刚石多晶晶圆片，用于大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉。

可用于生产制造防腐耐磨硬质涂层；环保领域污水处理用的金刚石产品。

可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。

可用于太阳能薄膜电池的研发与生产。

平面工作尺寸

圆形平面工作的尺寸：最大φ600mm。

矩形工作尺寸的宽度600mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1200mm）。

配置冷水样品台。

可单面镀膜也可双面镀膜。

热丝电源功率

可达300KW，1KW ～300KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围）

设备安全性

-电力系统的检测与保护

-设置真空检测与报警保护功能

-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护

-设置水压检测与报警保护装置

-设置水流检测报警装置

设备构成

真空室构成

双层水冷结构，立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形,前后开门，真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定。

热丝

热丝材料：钽丝、或钨丝

热丝温度：1800℃～ 2500℃ 可调

样品台

可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5 ～ 100mm范围内可调），要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm。

工作气路（CVD）

工作气路根据用户工艺要求配置：

下面气体配置是某一用户的配置案例。

H2(5000sccm，浓度100%)

CH4(200sccm，浓度100%)

B2H6（50sccm，H2浓度99%）

Ar(1000sccm，浓度100%)

真空获得及测量系统

控制系统及软件

生产型热丝CVD金刚石设备

可制备金刚石面积-宽600*长1200mm

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