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中科艾尔二期生产基地开工,聚焦集成电路气路系统核心零部件领域

集微网消息,近日,中科艾尔二期生产基地项目开工。

中科艾尔官方消息显示,新项目占地13.3万平米,建筑面积约12万平米,建设内容为年产500万件的超洁净气路系统关键零部件生产线;年产1000万米的超洁净管件生产线;年产7万个半导体级源瓶以及16万个半导体级瓶阀的超洁净存储集成生产线。

据介绍,该项目建成后,将成为国内唯一的产研一体、链条闭环的集成电路气路系统核心零部件研发生产基地。

中科艾尔是一家半导体级超高纯、高纯管阀件研发、制造和销售的企业,已形成高纯材料研发生产、核心生产装备研发制造、超高纯管阀件研发生产、气路系统产品集成的全产业链经营能力。

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