光刻机外还有光刻胶！厦门这家“领头羊”，填补多项空白……

在半导体产业

光刻胶对于芯片制造至关重要

而在这场全球技术竞争中

中国企业以其创新力突破重围

占领一席之地

在这支勇闯国际的“先锋队”中

就有我们的海沧企业

——厦门恒坤新材料科技股份有限公司

关于厦门恒坤

厦门恒坤新材料科技股份有限公司（以下简称 “厦门恒坤”）主要从事先进半导体材料的研发、生产和销售，主要产品有高端光刻胶和超高纯前驱体，应用于集成电路芯片制造的先进制程。

作为国家级专精特新企业，厦门恒坤是国内主要芯片企业的材料供应商，占据12寸晶圆制程用国产光刻胶主要市场份额，有效填补该领域的多项国内空白。

在国内的光刻胶领域

厦门恒坤有着不可忽视的行业地位

它可是国内领先的半导体光刻胶

及超高纯前驱体材料供应商

厦门恒坤自研光刻胶

什么是光刻胶？

光刻是晶圆制造过程中重要的工艺步骤，实现将掩模图形转移至芯片再进行进一步加工。在光刻工艺中，光刻材料是实现图形转移的重要原材料。

光刻胶的作用就是

“转移图形”

经过曝光、前烘、显影、刻蚀等

一系列步骤

把电路图案转移到半导体芯片上

流程图

可以说

在半导体行业

光刻胶扮演着至关重要的角色

决定着芯片的整体性能

厦门恒坤生产车间

近年来

厦门恒坤通过技术创新和国际合作

正推动国产光刻胶产业化和国产化进程

填补国内空白

展现强劲的发展潜力和国际竞争力

“质”的突破

填补空白，打破瓶颈

厦门恒坤是国家集成电路材料联盟、存储器联盟、三维半导体集成制造创新中心成员，拥有强大的自主研发能力，技术达到国际先进水平。

凭借其独有的创新力，厦门恒坤获评省级工程研究中心、新型研发机构、博士后创新实践基地、企业技术中心等多项荣誉，并与高校及科研院所携手合作，共同推进光刻胶的国产化进程。

近年来，公司技术团队一直致力于光刻胶等半导体材料的核心技术攻关和产业化，配合国内晶圆制造厂商为突破3D NAND闪存芯片、Dram存储芯片和逻辑芯片的先进工艺技术提供关键材料支撑。

厦门恒坤的产品技术处于国际先进、国内领先水平，在碳膜涂层SOC和底部抗反射涂层BARC光刻材料领域，更是目前国内率先实现量供的国产光刻胶企业。

据了解，厦门恒坤已建成海沧总部研发中心和三个生产基地，在12英寸晶圆制造前道制程应用上，自产光刻胶累计出货突破20000加仑，前驱体累计出货300吨，填补先进技术节点多项国内空白，有效解决了集成电路产业链“卡脖子”问题。

从0到1的突破，并不是厦门恒坤的目标。从1到100，提升光刻胶的技术核心优势，促进国内芯片产业的发展，才是厦门恒坤坚持要走的道路。

厦门恒坤实验室

“质”的提升

创新赋能 亮点频现

光刻胶直接影响着半导体行业的发展，甚至可以说影响着一个国家在智能产业方面的发展。

以厦门恒坤为代表的中国企业，正在以自主研发和生产努力追赶，进一步实现光刻胶的国产化进程，缓解外部供应的风险。

据了解，厦门恒坤自主研发的KrF、ArF光刻胶已通过大厂验证并实现产业化，截止目前该类光刻胶国产化率不到2%。

此外，厦门恒坤几十款光刻材料产品已批量供货给国内多家芯片制造龙头企业，并可就近配套省内的集成电路企业，助推福建省集成电路产业升级，赋能产业链提档升级。

TEOS产品

可喜的是，在半导体行业周期性回暖和国产化替代需求的影响下，近年来厦门恒坤公司的业绩呈持续稳健增长趋势。

厦门恒坤实验室

“借助产业发展东风，还有政府服务的大力支持，我们得以将全部精力专注于科技创新。”

厦门恒坤总经理助理郭先生说，在恒坤总部创新实验室建设过程中，海沧区政府高度重视项目的推进，在关键之时加速相关手续的办理，给予产业政策指导支持，积极为企业提供全方位的支持与帮助，不仅为项目提供了有力的保障，也加速了项目的落地进程。

恒坤总部创新实验室

来自政府的贴心服务，以及市、区级的行业扶持政策，给了厦门恒坤迎难而上的底气。

大伙儿互相提个醒~

编辑/摄影:陈亚丽 陈亚沙

校对/二审:暨王月 王庆平

三审:庄梅芳

资料:海沧区科技和工信商务局 厦门恒坤