晶盛机电入选浙江省2023年第二批全省重点实验室

e公司讯，近日，浙江省科学技术厅公布了2023年第二批全省重点实验室认定结果，由晶盛机电和上虞半导体材料研究中心共建的“全省高性能硅材料装备重点实验室”荣获本次认定。该实验室致力于通过硅材料设备关键技术研究解决大尺寸硅片缺陷多、平坦度低等行业难题，建设国内首条12英寸集成电路大硅片设备实验线，重点围绕晶体生长、磨削、抛光等关键技术开展研究与突破，建立自主可控的硅材料装备国家技术体系，建设成为半导体材料装备领域世界一流、具有重要国际影响力的科研高地。