01
基本定义与原理
飞行时间法(Time-of-Flight, TOF)
定义:通过测量载流子(电子或空穴)在电场作用下通过半导体材料的飞行时间,计算其迁移率的方法。
测试原理:
在材料表面施加短脉冲光(如激光),激发产生电子-空穴对。
施加外部电场,驱动载流子向电极移动。
通过检测载流子到达电极的时间(飞行时间),结合材料厚度和电场强度,计算迁移率。
公式:μ= d/(E*T_tr ) =d^2/(V*T_tr )
其中,μ为迁移率,d为材料厚度,V为外加电压,T_tr为飞行时间。
02
数据分析与关键参数
1. 电子迁移率(Electron Mobility)
(1)定义:电子在电场作用下的移动速度。
(2)测试方法:通过测量电子到达电极的时间,结合电场强度和材料厚度计算出电子迁移率。
(3)应用:评估半导体材料的导电性能,优化器件设计。
2. 空穴迁移率(Hole Mobility)
(1)定义:空穴在电场作用下的移动速度。
(2)测试方法:通过测量空穴到达电极的时间,结合电场强度和材料厚度计算出空穴迁移率。
(3)应用:研究P型半导体的电荷传输特性。
3. 载流子寿命(Carrier Lifetime)
(1)定义:非平衡载流子在半导体中存在的平均时间。
(2)测试方法:通过分析飞行时间曲线中的衰减部分,拟合载流子寿命。
(3)应用:评估材料的复合损失,优化光电器件效率。
4. 渡越时间(Transit Time)
(1)定义:载流子从产生到被电极收集所需的时间。
(2)测试方法:直接测量载流子从发射区通过基区到达集电区的时间。
(3)应用:研究器件的响应速度,优化高频应用性能。
03
典型应用领域
半导体材料研究
新型材料评估:如钙钛矿、有机半导体、二维材料(如石墨烯、MoS_2)的载流子迁移率测量。
缺陷态分析:通过迁移率变化,研究材料中的缺陷与杂质影响。
光电器件优化
太阳能电池:评估电荷传输层材料的迁移率,优化器件效率。
晶体管:研究沟道材料的载流子传输特性,提升开关速度。
04
飞行时间法迁移率测量仪FlyTOF系统特点
1. 高度集成化、自动化:
FlyTOF将多个测量功能集成在一个设备中,实现一体化的测试解决方案;
设备支持自动化测试流程,减少人工操作,提高测试效率和重复性;
自动化功能包括样品加载、测试参数设置、数据采集和分析等。
2. 载流子迁移率测量值覆盖范围广:
FlyTOF能够测量的载流子迁移率范围从 10^(-9) 到10^6 cm^2⁄((V·s));
这使得FlyTOF适用于各种半导体材料,包括高迁移率的晶体材料和低迁移率的非晶材料。
3. 支持多种测量模式:
变温测量:FlyTOF可选配温度控制系统,可以在不同温度下进行迁移率测量,研究温度对材料迁移率的影响;
表面载流子迁移率测量:FlyTOF能够测量材料表面的载流子迁移率,这对于研究表面效应和界面工程非常重要;
载流子二维扫描成像:通过二维扫描功能,FlyTOF可以对样品表面的载流子迁移率进行成像,揭示材料的空间不均匀性。
4. 灵活的测试条件变量控制:
FlyTOF支持对电压、光强、温度、激发源、氛围等测试条件变量的精确控制;
用户可以根据研究需要设置不同的测试条件,以模拟实际应用环境或探索材料的性能极限。
5. 获得材料的详细信息:
通过迁移率测量,FlyTOF可以提供关于材料杂质浓度、缺陷、能带混乱度、电荷跳跃距离等重要信息;
这些信息对于理解材料的载流子传输机制、优化材料性能和设计新型半导体器件至关重要。
6. 应用领域广泛:
FlyTOF适用于太阳能电池、光探测器、光催化、新型半导体材料等多种应用领域;
设备的多功能性和灵活性使其成为科研和工业界研究半导体材料和器件的理想工具。
7. 用户友好的操作界面:
FlyTOF配备直观的上位机控制和数据测量软件,便于用户进行操作和数据分析;
软件界面友好,支持多种数据分析和可视化功能,帮助用户快速获取测试结果。
8. 高精度和高可靠性:
FlyTOF时间分辨率达皮秒级,确保数据准确性;
设备经过严格的校准和验证,满足科研和工业应用的高标准要求。
05
实验装置与测试条件
1. 实验装置
(1)脉冲光源:使用337nm、520nm等波长的激光器,提供短光脉冲以激发样品产生光生载流子。
(2)快速响应检测系统:配备示波器、锁相放大器等设备以捕获瞬态信号,进行精确的迁移率测量
(3)样品夹具:采用开放式夹具,以适应不同形状和尺寸的样品测试。
2. 测量条件
(1)电压、光强、温度、激发源、氛围等测试条件变量:FlyTOF支持对这些测试条件变量的精确控制,以模拟实际应用环境或探索材料的性能极限。
(2)变温测量:可选配宽温度范围的变温测试功能,以研究温度对载流子迁移率的影响。
(3)激发光源:可灵活耦合不同类型的激发光源,如337nm 纳秒气体激光器、532nm纳秒调Q固体激光器等,以适应不同测试需求。
(4)二维扫描功能:可选配TOF二维扫描(mapping)功能及附件,实现样品表面载流子迁移率的二维成像。
06
测试数据展示
利用飞行时间法迁移率测量仪FlyTOF对数据进行测量。
1.钙钛矿(单晶、粉末压片)
2.钙钛矿(薄膜)
3. Si片
4.高纯Ge
5.碲锌镉(晶体)
6.碲化镉(晶体)
7.有机半导体
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