医疗电子：薄膜沉积设备的跨界应用

医疗电子设备（如植入式传感器、精密手术器械）对薄膜沉积技术的需求日益增长。这类设备通过纳米级涂层提升生物相容性、耐磨性和信号传输性能。

ALD 设备通过沉积 TiN、ZrN 等材料，在植入式传感器表面形成生物相容性涂层。例如，BENEQ 的 ALD 系统可在金属植入物表面沉积 100nm 厚的 Al₂O₃层，耐腐蚀性提升 10 倍，已通过 ISO 10993 认证。2023 年全球医疗电子薄膜沉积设备市场规模达 8 亿美元，预计 2028 年将突破 20 亿美元。

厦门毅睿科技-芯壹方原子层沉积（ALD）系统

PVD 设备通过磁控溅射技术在手术器械表面沉积类金刚石（DLC）涂层，硬度高达 HV2000，摩擦系数降低至 0.1 以下，延长器械使用寿命。安徽纯源镀膜科技的 PVD 设备支持 AlCrN、TiSiCN 等 40 余种镀层材料，硬度最高达 45GPa，耐受温度超过 800℃，已应用于腹腔镜器械和牙科工具。

柔性医疗传感器需在聚合物基板上沉积透明导电薄膜。PECVD 设备通过低温工艺沉积 ZnO:Al（AZO）层，厚度控制在 50-100nm，透光率＞90%，方阻＜10Ω/□。迈为股份的 PECVD 设备支持柔性基板卷对卷沉积，产能达每小时 100 米，已应用于可穿戴健康监测设备。

医疗电子对薄膜沉积设备的生物相容性和无菌性提出严格要求。例如，ALD 设备需在洁净室环境中运行，前驱体材料需通过生物安全性认证。未来，随着个性化医疗和远程监测的发展，医疗电子薄膜沉积设备将向定制化、智能化方向升级，市场空间持续扩大。

厦门毅睿科技-芯壹方 微波等离子体辅助原子层沉积系统（MPALD）

厦门毅睿科技有限公司、厦门芯壹方科技有限公司自主研发生产的微波等离子体辅助原子层沉积系统（MPALD），可实现＜±3%的均匀沉积，微波频率：2.45±0.025 GHz，微波功率:≥3KW连续可调。

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