类金刚石薄膜（DLC薄膜）研究取得新进展 PECVD法有望成为其主流制备方法

类金刚石薄膜（DLC薄膜）研究取得新进展 PECVD法有望成为其主流制备方法

      类金刚石薄膜又称DLC薄膜，指具有类似金刚石性能的非晶态碳薄膜。DLC薄膜含有sp3和sp2杂化的碳原子，具有化学稳定性好、耐磨性好、硬度高、生物相容性好、电绝缘性佳、热稳定性佳、摩擦系数低等优势，适用于生物医学、汽车制造、电子电气、航空航天等领域。

      DLC薄膜制备方法包括液相沉积法、物理气相沉积法以及化学气相沉积法三种。液相沉积法以电化学沉积法为代表，具有绿色环保、参数易控制等优势，但成品质量较差；物理气相沉积法可细分为弧光放电法、非平衡磁控溅射法、脉冲激光沉积法等，其运行成本较高；化学气相沉积法以等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）为代表，具有反应速度快、成品质量好等优势，可通过控制沉积参数制得高质量产品，未来有望成为DLC薄膜主流制备方法。

      根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国类金刚石薄膜（DLC薄膜）行业应用市场需求及开拓机会研究报告》显示，DLC薄膜主要应用于生物医学、汽车制造、电子电气、航空航天等领域。在生物医学领域，DLC薄膜具有无毒、生物相容性好等优势，可用于手术器械、假肢以及植入材料制备过程中；在汽车制造领域，其可用于汽车发动机部件制造过程中；在电子电气领域，其可用作电子元器件保护材料；在航空航天领域，其可用于飞行器引擎部件以及卫星组件表面。

      近年来，我国DLC薄膜研发热情持续高涨，已取得众多新进展。2022年3月，中国科学院兰州化学物理研究所低维润滑材料课题组的研究人员基于等离子体增强化学气相沉积技术，成功制备出一种异形件表面DLC薄膜，产品未来有望在刀具、齿轮、活塞环等异形件表面获得应用。

      我国DLC薄膜主要生产商包括菲沃泰、长信科技、梯爱司新材、久之洋等。菲沃泰专注于纳米薄膜产品的研发、生产及销售，为我国DLC薄膜代表企业。菲沃泰采用自主研发的PECVD设备制备DLC薄膜，其产品兼具高硬度以及高耐磨性，在显示器件中已获得应用。

      新思界行业分析人士表示，DLC薄膜作为一种高性能薄膜，在众多高新技术领域拥有广阔应用前景。在市场竞争方面，目前我国已有多家企业及科研机构布局DLC薄膜行业研发及生产赛道，其市场竞争日益激烈。未来伴随研究深入、技术进步，我国DLC薄膜行业发展速度将进一步加快。