微波等离子体的作用

在传统原子层沉积的基础上，引入微波等离子体可以带来诸多优势。

产生高活性粒子：微波等离子体是通过微波能量将气体激发成等离子体状态。在等离子体中，存在大量的离子、自由基和高能电子等活性粒子。例如，当通入氧气或氮气等气体时，在微波的作用下会产生氧自由基、氮自由基等。这些高活性粒子具有很强的化学反应活性，能够促进前驱体的分解和表面反应，降低反应温度，提高薄膜的沉积速率和质量。

改善薄膜性能：等离子体中的高能粒子可以对沉积过程中的薄膜进行表面处理，如轰击薄膜表面，去除杂质、改善表面平整度、提高薄膜的致密度和结合力等。例如，在沉积金属氧化物薄膜时，等离子体可以使金属原子与氧原子更好地结合，减少薄膜中的缺陷和杂质。