ASML申请直接数字化检测通道专利，可防止感测元件处的噪声传递到感测元件级电路中的检测单元

文章来源：企鹅号 - 金融界视点

国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“直接数字化检测通道”的专利，公开号CN120604146A，申请日期为2024年01月。

专利摘要显示，一种带电粒子检测器包括多个感测元件，每个感测元件具有用于处理检测信号的感测元件级电路。感测元件电路包括用于防止感测元件处的噪声传递到感测元件级电路中的检测单元的阈值电路。阈值电路可以是晶闸管或其他固态电流控制器件，当达到阈值电压或电流时，该固态电流控制器件可以导通以传导电流，并且当电流降到保持电流以下时，该固态电流控制器件可以截止。检测单元可以是能够以离散可编程单位产生测量值的直接数字化单元。