深圳步进式光刻机突破：国产半导体设备的新里程碑

近日，深圳稳顶聚芯技术有限公司自主研发的首台高精度步进式光刻机顺利出厂，这一突破虽未解决最先进制程的“卡脖子”问题，却为化合物半导体领域开启了自主可控的突破口。

我认为稳顶聚芯WS180i系列步进式光刻机的成功出厂，代表了中国在特定半导体设备领域的实质性进步。这款设备精准定位在mini/micro LED、光芯片和功率器件等化合物半导体市场，展现了务实的差异化发展策略。

技术定位：专注化合物半导体的精准突破

WS180i系列光刻机支持2-8英寸晶圆，分辨率覆盖1.5μm至0.35μm。这一参数虽与制造先进手机和电脑CPU所需的极紫外（EUV）光刻机存在差距，但恰好满足化合物半导体和高端光电器件制造的需求。

这种“有所为，有所不为”的战略选择体现实用主义智慧。稳顶聚芯避开在尖端逻辑芯片制程上与国际巨头直接竞争，转而聚焦于正在快速增长的特色工艺市场。

产业意义：构建自主可控的半导体装备链

光刻机作为半导体制造的“皇冠明珠”，技术壁垒极高。此前，光刻机的国产替代率几乎无限接近于0，成为制约国内半导体产业向更高工艺节点迈进的核心瓶颈。

WS180i光刻机的出厂，与稳顶聚芯已有的套刻及关键尺寸光学量测设备（量测精度10nm）、超精密光学成像质量评价系统、薄膜测量系统等产品形成协同，共同构建了更为完整的半导体装备产品线。

市场前景：顺应新兴产业需求

这款光刻机面向的mini/Micro LED市场正处于爆发式增长前夜。随着显示技术迭代和能源电子需求攀升，化合物半导体领域成为中国半导体产业差异化竞争的重要切入点。

稳顶聚芯虽为2023年5月新成立的企业，注册资本119.21306万元，2024年底参保人数仅37人，但已具备年产20台光刻机整机的产能。公司预计2025年营收达1.4亿元，实现净利润4480万元，展现出对市场前景的信心。

挑战与机遇：国产设备的进阶之路

尽管取得突破，国产光刻设备仍面临挑战。技术迭代和商业化落地是关键。稳顶聚芯核心团队85%以上具有国内外知名大学研究生学历，来自国内半导体行业顶尖科研院所及全球500强企业，这是其技术攻坚的重要基础。

资本市场对国产半导体设备突破反应积极。消息发布后，芯片设备ETF暴涨7.72%，光刻机板块走高，表明市场看好国产半导体设备领域的发展潜力。

从长远看，中国半导体设备产业需要更多像稳顶聚芯这样的企业，在特定领域率先突破，逐步积累技术、市场和资金，最终向更高端设备领域迈进。

结语

深圳稳顶聚芯的成功案例表明，中国半导体设备产业的崛起不必拘泥于单一技术路径或直接挑战最尖端制程。通过在市场需求旺盛且技术门槛相对可达的领域深耕，同样能够构建核心竞争力并实现商业价值。

半导体产业的发展没有捷径，但有多条路径。 步进式光刻机在化合物半导体领域的突破，为中国半导体设备产业提供了差异化竞争的新思路。随着更多企业在各自细分领域取得进展，中国半导体产业链的自主可控能力将得到实质性提升。