化学气相沉积的原理
原理:：CVD是利用气态物质在固体表面进行化学反应，生成固态沉积物的过程。
三个步骤：
CVD的过程：
1.反应气体到达基材表面
2.反应气体被基材表面吸附
3.在基材表面产生化学反应，形核
4.生成物从基材表面脱离
5.生成物从基材表面扩散
常见的反应类型：
1、热分解反应
2、还原反应
3、化学输送
4、氧化反应
5、加水分解
6、与氨反应
7、合成反应
8、等离子激发反应
9、光激发反应
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