【华特气体傅铸红:High-k前驱体气体国产化三年内或迎突破】《科创板日报》10月17日,在2025湾区半导体产业生态博览会(简称“2025湾芯展”)期间,华特气体董事、总经理傅铸红在接受《科创板日报》记者专访时表示,随着半导体制程越来越先进,从14nm进化到7nm乃至以下,其对混合光刻气的纯度要求会越来越高,如何进一步提高光刻气的纯度,是华特气体未来需要重点攻克的方向。傅铸红表示,目前适用于外延成膜、强腐蚀性气体、High-k前驱体等领域的高端电子气体领域,国产率还相对较低。他个人认为,不到三年内,适用于High-k前驱体的气体国产化将迎来突破。(记者 黄修眉)