全国产业计量融合创新发展会议发布2025十大重点项目 深圳检测院一检测装置研制项目入选

深圳新闻网2025年11月13日讯（深圳特区报记者 张智伟）11月12日，全国产业计量融合创新发展会议在湖南衡阳召开。会议现场发布了市场监管总局和工信部联合开展的“计量支撑产业新质生产力发展2025年度十大重点项目”，深圳检测院牵头承担的“纳米级工业CT检测装置研制”入选十大重点项目之一，刘铁东院长上台签署项目任务书。

当前，国内相关装备高度依赖进口，国产化装备空白导致产业面临“卡脖子”风险。深圳检测院承担的“纳米级工业CT检测装置研制”项目，在自主研发的“平面扫描成像工业CT设备”基础上推进。现有设备可在数秒内实现芯片封装、电路板等产品内部三维结构的快速重建与缺陷识别，最高分辨率达1微米，目前该设备已在多家企业与科研机构投入应用。

为进一步满足高端芯片微纳结构检测需求，服务我国高端集成电路与先进封装产业，深圳检测院积极推进“纳米级工业CT检测装置研制”。项目将引入AI技术，突破纳米级分辨力成像、全自动缺陷识别与智能分析及控制软件等关键技术，研制形成百纳米级高分辨工业CT检测装置，同时建立配套计量检测技术标准及规范，形成从核心装备到系统解决方案的全链条支撑能力。