推迟EUV设备交货？ASML与中芯国际表态

近日，据日经亚洲评论报道称，荷兰EUV（极紫外线）光刻机供应商ASML将推迟对晶圆代工厂商中芯国际的交付出货。

不过，随后ASML和中芯国际对此均表示否定。

ASML回应称，“ASML延迟中芯国际EUV设备出货”这一说法有误，公司对于全球客户一视同仁。ASML表示，根据瓦纳森协议，ASML出口EUV设备到中国需要获得荷兰政府的出口许可，而这一许可已于今年到期，ASML已在到期前重新申请了出口许可，目前正在等待荷兰政府审核批准。

至于何时能拿到许可证，ASML相关负责人表示，目前处于正常的流程状态中，尚未掌握确切的时间。

此外，中芯国际也回应称，“极紫外光（EUV）还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常，客户与设备导入正常运作。”

据悉，中芯国际于去年5月向ASML订购了一台价值1.2亿美元的EUV光刻机。