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光刻机的技术难度在哪里?有钱都难买,ASML:给你们图纸也不行

在航空工程和光刻机的发展中可以看到人类技术的最高水平,这是工业王冠的瑰宝。目前,中国的航空发动机已经取得了长足的进步。智能手机的核心组件是芯片,并且该芯片是使用光刻机制造的,因此其重要性不言而喻。

然而,用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。在能够制造机器的这几家公司中,尤其以荷兰ASML技术最为先进,价格也最为高昂。那么光刻机制造难度有多大?

其实,光刻机的技术难度在于“技术封锁”,一台顶级的光刻机关键设备来自于西方发达国家,美国的光栅、德国的镜头、瑞典的轴承、法国的阀件等,是人类智慧集大成的产物,所以ASML曾说“即便给你们全套图纸,你们也造不出来”。

也有人表示,既然这样那我们就赶紧花高价去研发。光源相对好说,但分辨率、套刻精度就是制约其它厂商前进的脚步,是那些工程师几十年如一日调校出来的,正因为这样所以ASML才能吹牛,因为就算零件一样,你也未必能够实现它的精度。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20191120A079K100?refer=cp_1026
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