贵研铂业增材制造院士工作站获认定，将解决异形靶材共性关键技术问题

根据昆明日报消息，日前，贵研铂业股份有限公司依托俄罗斯国立科技大学迪夫-弗拉迪斯拉夫（Deev Vladislav）院士申报的“云南（昆明）电弧增材制造院士工作站”获得昆明市科技局批准认定。

该院士工作站立足于当前下游半导体行业多元化发展带来的大尺寸、异形靶材在传统加工方式上存在的关键难点，提出一种新的靶材制造方式——电弧增材制造，打破传统加工方式限制，大幅提升靶材成材率，节约贵金属，提高生产效率。

▲贵研铂业产品之一：先进封装用溅射靶材

据悉，迪夫-弗拉迪斯拉夫院士是行业知名专家，为俄罗斯自然科学院院士、俄罗斯联邦教育和科学部学部委员，获俄罗斯诺贝尔奖章，现任俄罗斯国立科技大学首席研究员；先后主持过多项俄罗斯重大专项项目，并实现多项成果转化，经济和社会效益显著，拥有25项俄罗斯专利，15项在当地企业转化和应用；长期从事锻造、铸造和电弧增材制造等方面的研究，获多项重量级奖项。

贵研铂业与迪夫-弗拉迪斯拉夫院士将合作解决传统异形贵金属靶材生产过程中的贵金属投料多、机加工过程复杂、大量贵金属回收及耗时长等难题，为开发高技术含量、高附加值的大尺寸、异形靶材产品提供技术支撑，有效提升稀贵金属溅射靶材产品深加工技术水平，促进科技成果产业化；充分发挥优势资源，培养创新人才队伍，推动云南省新材料领域发展，实现产学研用协同创新。

溅射靶材是一种重要的镀膜材料，主要应用于电子及信息产业，在集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等领域广泛应用。目前，常用的靶材按形状分类可分为平面靶材和异形靶材，平面靶材的加工工艺相对成熟，异形靶材的结构特殊，常见的如碗状、四方形环状、桶状、弧面状等。若用传统的减材制造方式，比如切削，需要将坯料上多余的材料逐步去除，才能得到三维形状，不仅加工量大，还会产生大量的贵金属屑，生产效率低、生产成本高。

增材制造可以弥补上述传统方式加工异形靶材的缺点。增材制造属于3D打印领域，其原理是在一个完全没有任何材料的平台或成型面上逐步添加材料，根据机器设定的三维形状模型程序，逐层添加打印材料，最终得到三维形状。利用增材制造可以将某些异形靶材的原料利用率由传统方式的30%左右提升至98%以上。贵研铂业相关负责人介绍，该项技术将解决贵研铂业现有异形靶材产品共性关键技术问题，提升贵研铂业靶材产品的市场竞争力和占有率，促进规模化电子材料产业发展。

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