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PECVD等离子增强化学沉积技术

用户10405156 2023-03-062023-03-06 10:11:10

纳米涂层（what)是一种功能性、柔性纳米级厚度的薄膜，具有疏水疏油特性。原理（how)在低温真空腔体内，等离子激发反应气体，在基材（被保护的PCBA)表面开启...

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