令人振奋！中微尹志尧：刻蚀设备零部件将于明年实现100%国产！

据南华早报报道，8月25日，被誉为 “中国刻蚀机之父”的中微公司董事长尹志尧，在与分析师举行的电话会议上表示，中微半导体 80% 的限制进口零部件可在国内替代，明年下半年实现 100% 国产！

自2022年10月以来，在美国加强出口管制、旨在切断中国晶圆厂与美国先进半导体设备的联系后，中国客户加速采用中微的刻蚀设备。

目前，中微在中国电容耦合等离子体（CCP）刻蚀设备市场的份额预计将从2022年10月的24%增至60%。

而在电感耦合等离子体（ICP）设备市场，其份额可能会从几乎为零上升到75%。

数据显示，中微公司累计已有约3700台等离子刻蚀和化学薄膜的反应台，在国内外100多条生产线全面实现量产和大量重复性销售。

而在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上，该公司的CCP刻蚀设备实现了多次批量销售，已有超过200台反应台在生产线合格运转。

此次，刻蚀零部件将实现100%国产化，无疑是半导体设备一个战略级胜利信号！

刻蚀机简介

对于芯片制造来说，相信大家都知道光刻机很重要，但其实刻蚀机也非常重要。

如果把芯片的制造过程，比喻成制作一个复杂蛋糕的话。

那么首先，需要一块“硅蛋糕”原料。这硅就像蛋糕的基础层，是其他所有材料要加在上面的地方。

接着，需要在这块“硅蛋糕”上绘制设计好的图案。这就像用奶油挤花袋，在蛋糕上画出想要的图形或文字。

这个过程在芯片制造中，则是使用“光刻”技术来完成这步。

有了图案后，还要去掉不需要的部分。想象用刀在蛋糕上修剪掉多余的奶油，这在芯片制造中称为“刻蚀”。

在蛋糕制作中，可能还会在每层之间加入果酱或其他馅料。就好比在芯片制造中，会在不同的阶段添加金属或其他材料来连接和完成电路。

而要制作一个复杂的多层蛋糕，则需要不断重复上述步骤：加层、绘图、雕刻、加馅...芯片制造也是如此，一层层堆叠，直到完成。

完成后，会检查蛋糕是否做得漂亮、味道如何。同样的，在芯片制造中，也会测试芯片是否工作正常。

等这些都没问题后，一个功能强大的芯片就可以拿去售卖了。

众所皆知，光刻机是芯片制造中用到的最金贵的机器，要达到5纳米、3纳米曝光精度难比登天。

然而荷兰的ASML公司一家通吃高端光刻机，尤其是EUV光刻机。

而对于刻蚀机，有些人不以为然的认为，它的制造难度并不大，那么事实真的如此？

刻蚀机制造难度

打个比方，光刻机的工作就好像木匠用墨线在木板上画线，而刻蚀机的工作则是木匠在木板上按照墨线的痕迹雕花。

如果说，光刻决定了水平的精度，那么刻蚀就决定了垂直的精度，这两个工艺都是在挑战制造的极限。

就算你有非常牛逼的5纳米EUV光刻机，如果没有相对应制程的刻蚀机，也是白搭。

就说一点哈，为了保证芯片上数亿个晶体管的正常工作，刻蚀机需要在纳米级别上具有极高的精度和均匀性。这要求所有机器的组件和传感器都必须非常精确。

尤其是等离子刻蚀机，更是难点中的难点，被誉为除光刻机外最关键、工艺难度最高的半导体前道加工设备。

我们使用的芯片，内部是一个微型电路，好比是雕刻了一块巨大的金属板。

而想要把上面不需要的部分清除掉，最初，人们使用化学物质来腐蚀或“挖掉”金属板上的部分，就像酸会腐蚀金属一样。

但是，这个方法有个不好的地方，那就是很难控制，容易侵蚀到不想腐蚀的部分。

试想一下，如果用一块板子试图挡住洪水，水是不是会从各个地方绕过去？在大规模电路上可能还行得通，但在微小的电路上，稍有不慎就会破坏结构。

那怎么办？于是有人说了可以用等离子体。

简单来说，它就是一种由带电粒子组成的物质，可以像激光一样精确地“挖掉”金属板上的部分。

与液体化学腐蚀不同，等离子体可以直线腐蚀，不会“拐弯”，因此不会损坏其他部分。

根据等离子体产生和控制技术的不同，又分为电容耦合等离子体 CCP刻蚀机和电感耦合等离子体ICP刻蚀机。

目前全球刻蚀设备市场呈现垄断格局，泛林半导体、东京电子和应用材料公司占据主要市场份额。

中国刻蚀机领域先进企业中微公司和北方华创作为后起之秀，部分技术水平和应用领域已达国际同类产品标准。

尤其是中微的产品，已应用于全球最先进的7nm和5nm生产线。

据悉，2019年中国在刻蚀领域国产化率达18%， 在一些核心零部件上还存在卡脖子的情况。

为了追赶国际半导体巨头，目前中微公司董事长尹志尧表示，中微半导体 80% 的限制进口零部件可在国内替代，明年下半年实现 100% 国产！

这对于国产芯片领域来说，无疑是一个振奋人心的好消息！刻蚀机能解决，绝大多数设备也可以解决，因为除了光刻机其他技术难度大多是一个等级的。

​结尾

目前，尽管我国半导体设备产业和国际龙头仍有差距，但是随着国产化率越来越高，这背后凸显了我国相关研发实力质的飞跃。

相信好消息会在一两年内逐次降临，这样可以密集打脸殖人们的小心肝。

中国半导体产业的全面崛起必将在三年内实现，全自主无死角的产业链也必将在五年彻底达成，届时美西方会发现自己不过是过气的小丑。

从建国初期，西方对我国进行封锁的例子还少么？然而结果呢，统统都被逐一攻克了，所以给美西方提个醒，永远不要小瞧了中国人！