半导体设备国产化趋势下，看弥费科技怎样迎来AMHS赛道

随着生产数字化、智能化的发展趋势，以及人力成本的不断上升，工厂内设备也朝着自动化、智能化的方向发展，尤其在高端制造业中，几乎已经实现全自动化。

目前，在半导体晶圆制造领域，8英寸和12英寸成为主流。随着晶圆尺寸的不断增大，产线中的工序也成倍增长。如何高效率地进行物料搬送也成为晶圆制造厂提升效率的关键。自动物料搬运系统AMHS就是解决这一问题的“钥匙”。

自动物料搬送系统（AMHS Automatic Material Handling System）也被称为天车系统，它是负责晶圆在整个晶圆厂中搬送的自动化系统，包括晶圆的存储、传输以及调度所需的主要软硬件。

以一座12寸40nm、月产能为40,000片的晶圆厂为例，通常需要约200台天车构成天车传送系统，约25-30台大型存储设备和10,000台以上的空中缓存单元，以及其它各种形式的传输、存储和净化设备。

AMHS市场增长稳定

据弥费科技（上海）科技股份有限公司创始人兼CEO缪峰介绍，全球AMHS的市场规模将达到36亿美元（约合265亿元人民币），年复合增长率为16%。他表示：“AMHS系统属于生产自动化与控制类设备，是晶圆制造的前道设备，目前AMHS系统在整个半导体前道设备中的市场占比约为3%。”

虽然它在半导体前道设备中的市场占比不是很高，但未来的增长空间还是非常巨大的。据SEMI《2026年200mm晶圆厂展望报告》显示，预计在2023年到2026年，全球半导体制造商200mm晶圆厂产能将增加14%，新增12个200mm晶圆厂（不包括EPI），达到每月770多万片晶圆的历史新高。占200mm晶圆厂产能比重大部分的是80nm到350nm的技术节点。80nm至130nm节点产能预计将增长10%，而131nm至350nm技术节点产能预计将在2023年至2026年增长18%。

另外，SEMI在《300mm晶圆厂展望报告-至2026年》中也强调，继2023年下降之后，从明年开始全球前端的300mm晶圆厂设备支出将开始恢复增长，预计2026年将达到1190亿美元的历史新高。

越来越多的产能扩张，就需要更多的生产自动化和控制类设备。缪峰表示：“尤其在中国市场，12英寸晶圆厂将会是AMHS的增量市场；而8英寸晶圆厂因为需要自动化系统升级以提升效率，将会是AMHS的存量市场。”

打破国际巨头垄断局面，弥费软硬件双管齐下

目前AMHS领域主要被国际厂商长期垄断，日本的村田机械和大福更是覆盖了国内90%以上的市场份额，在国际市场占有率更是高达95%以上。垄断也就意味着高价格，随着国内晶圆产能的不断扩大，以及生产设备国产化的发展趋势下，研发我国自主的AMHS系统已刻不容缓。

“正因为看到了这样的趋势，我们才会义无反顾地投入了AMHS领域。”缪峰在接受媒体采访时表示。成立于2014年的弥费科技最初主要为海外公司提供设计服务，而后在2018年开始研发AMHS系统，在谈及为何会选择这一领域时，缪峰表示：“一是为了公司的可持续发展，自主的产品和技术是关键；二是也看到了这一市场的增长潜力；三是半导体设备国产化的市场趋势。”

经过五年左右的发展，目前弥费科技已经成长为我国半导体晶圆厂AMHS细分赛道的领跑者，也已经具备一定的实力和国际领先厂商一较高下。

弥费科技（上海）股份有限公司首席技术官李宏伟博士表示：“取得这样的成绩，关键是产品力。”

对于天车系统来说，控制能力非常重要。弥费科技从软硬件两方面共同发力，打造出色的控制系统，实现更高算力。在控制算法方面，弥费科技通过产学研合作在自主开发的天狼星系统中植入了AI算法，李宏伟博士将之称为是弥费科技的‘护城河’。之后通过大量的数据积累来优化整个系统，实现性能超越。

目前，弥费科技已经可以提供turn key解决方案。李宏伟表示：“我们现在是一个系统级的供应商，为客户提供可监控、可预测的产品。”

缪峰表示：“国内AMHS厂商和领先国际厂商之间最大的差距就在于，他们已经累积了很多的数据量，且有很多的实战经验，而国内厂商因为起步慢，没有足够的数据可供分析参考，相对来说会延缓迭代速度。但随着设备国产化的趋势，这样的情况也在慢慢改善。”

立足中国，辐射全球

12月26日，弥费科技启用了临港生产基地暨全球研发中心，该基地占地面积约为8000平方米，其中2000平方米是以天车为核心的洁净室AMHS整体解决方案。据悉，该新工厂的交付能力较之前提升了4倍，可以满足三个标准晶圆厂的整厂AMHS系统供货需求。

因为地缘政治影响，近几年，制造业不断外移至东南亚国家。作为半导体设备的供应商，弥费科技也在新加坡和马来西亚进行了布局，以更贴近客户。

缪峰表示：“我们在立足国内市场的同时，不断提升我们的产品力和技术实力，然后进军国际市场。我们的目标就是在2026年成为全球第三的AMHS供应商。”