理解EBSD技术的原理、采集及分辨率

EBSD，即电子背散射衍射技术，是一种先进的材料微观分析技术。它通过分析从样品表面反射回来的电子的角度和相位差异，来揭示材料的晶体结构和晶粒的取向等微观特征。与常规的扫描电子显微镜（SEM）技术相比，EBSD提供了更高的空间分辨率，能够精确到亚微米级别的晶体学细节。

EBSD技术的关键优势在于它在保持SEM常规功能的基础上，通过电子的衍射效应来获取晶体学数据。这种技术不仅能够揭示样品的晶体结构和晶粒取向，还能同时测量晶粒的大小和形态等关键参数。因此，EBSD已成为材料科学研究中不可或缺的工具，广泛应用于分析材料的微观结构与其宏观性能之间的关系。

EBSD技术的高分辨率和多参数测量能力，使其在材料缺陷分析、相变研究、应力分析以及材料加工和制造过程中的微观结构演变研究等领域具有重要应用价值。

电子背散射衍射花样(EBSD)

在扫描电子显微镜(SEM)中，当电子束入射到样品上时，与样品相互作用会产生多种效应。其中之一就是电子在规则排列的晶格面上发生衍射。所有晶面上的衍射组成了所谓的"衍射花样"，它可以被看作是晶体中原子面之间角度关系的图示。

衍射花样包含了晶系(如立方、六方等)的对称性信息。此外，晶面和晶带轴之间的夹角与晶系类型和晶体的晶格参数有直接对应关系。这些数据可用于通过EBSD技术对晶相进行鉴定。对于已知的晶相，则衍射花样的取向与晶体的取向直接相对应。

EBSD系统组成

系统设备的核心是扫描电子显微镜，它可以产生高能电子束并将其聚焦在样品表面。EBSD系统的硬件部分通常由一个灵敏的CCD摄像仪和一套图像处理系统组成。CCD摄像仪用于捕捉由扫描电子显微镜产生的反射电子图像。图像处理系统则用于对图像进行花样平均化和背底扣除等处理，以提取出清晰的衍射花样。

通过这套系统设备，EBSD技术可以获得准确的衍射花样数据，进而分析晶体的结构和取向。这为材料科学研究提供了重要的工具和手段。

EBSD探测器

在扫描电子显微镜中，获取电子背散射衍射花样的基本操作非常简单。为了增强背散射（即衍射）信号，相对于入射电子束，样品被高角度倾斜。这样，EBSD信号可以充分强化，以便能够被荧光屏接收（位于显微镜样品室内）。荧光屏与一个CCD相机相连，因此可以直接或经过放大储存图像后在荧光屏上观察到EBSD。只需要进行很少的输入操作，软件程序就可以对花样进行标定，以获得晶体学信息。目前，最快的EBSD系统每秒可以测量700~900个点。

现代的EBSD系统和能谱EDX探头可以同时安装在扫描电子显微镜上。这意味着在快速获取样品取向信息的同时，还可以进行成分分析。这使得研究人员可以在同一设备上获得更全面的样品表征数据。

制样原则

1、无残余应力；表面平整（振动抛光）；清洁；适合的形状及尺寸；导电性良好。

2、样品制备过程EBSD变化

3、离子刻蚀、抛光

4、EBSD 标定及面扫