钛媒体App 9月3日消息,市场消息称,三星正对Tokyo Electron (TEL) 的Acrevia GCB气体团簇光束系统进行测试。TEL的Acrevia GCB系统发布于今年7月,可通过气体团簇光束对EUV光刻图案进行局部精确整形,从而修复图案缺陷、降低图案粗糙度。
分享快讯到朋友圈
领取专属 10元无门槛券
私享最新 技术干货