MKS申请整合压力和流量控制器方法和设备专利，可判定质量流率

文章来源：企鹅号 - 金融界视点

国家知识产权局信息显示，MKS股份有限公司申请一项名为“用于整合压力和流量控制器的方法和设备”的专利，公开号CN120604189A，申请日期为2024年02月。

专利摘要显示，本发明提供了压力控制方法及装置。一种压力控制器包括：控制阀，所述控制阀被配置成控制流动路径中的流体的压力；流量限制器，所述流量限制器设置在流动路径中；以及远端压力感测器和近端压力感测器。远端压力感测器在远离控制阀的位置处检测流量限制器处的流体压力，并且近端压力感测器在接近控制阀的位置处检测流量限制器处的流体压力。压力控制器进一步包括控制器，所述控制器被配置成：1)基于远端压力感测器所检测的压力和压力设定点而控制控制阀的致动，并且2)基于远端压力感测器和近端压力感测器所检测的压力而判定质量流率。