长鑫科技申请支撑结构等相关专利，提升图案转移精度

国家知识产权局信息显示，长鑫科技集团股份有限公司申请一项名为“支撑结构、光罩组件及支撑结构的制作方法”的专利，公开号CN 120610434 A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本公开是关

于一种支撑结构、光罩

组件及支撑结构的制作

方法，用于与光罩和光

罩防尘膜配合使用，支

撑结构包括环形框体和

多个导热件，多个导热

件沿环形框体的周向方

向排布，导热件呈条形，

导热件的延伸方向上的

两端部分别与框体的环形内圈和环形外圈相连。本公开中，导

热件的热膨胀系数小于所述框体的热膨胀系数，在支撑结构运

动和/或受环境影响温度波动状态下，导热件与框体相比仅发

生微小形变，从而减小整个支撑结构的形变量，提升支撑结构

在温度波动情况下的结构稳定性，减小了因支撑结构形状变化

导致光罩形变程度，从而减小因光罩形变导致的图形转移误

差，利于提升图案转移精度。

天眼查资料显示，长鑫科技集团股份有限公司，成立于2016年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6019279.7469万人民币。通过天眼查大数据分析，长鑫科技集团股份有限公司共对外投资了18家企业，参与招投标项目1082次，财产线索方面有商标信息236条，专利信息489条，此外企业还拥有行政许可34个。

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来源：市场资讯