增芯科技申请离子注入补偿方法专利，提高了器件的制造良率
国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司申请一项名为“离子注入补偿方法”的专利，公开号CN 120611516 A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明提供了一种离子注入补偿方法，该方法包括：在半导体器件的加工过程中，测量在目标区域离子注入前半导体中间器件的实际尺寸偏移量；基于实际尺寸偏移量、第一关系和第二关系，确定对目标区域进行离子注入补偿的补偿剂量并进行离子注入，第一关系通过对半导体器件进行仿真确定，第一关系表征仿真中半导体器件的尺寸偏移量与驱动电流变化量之间的关系，第二关系通过对半导体器件进行仿真确定，第二关系表征仿真中半导体器件的离子调整剂量和驱动电流变化量之间的关系。
天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本727500万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目37次，财产线索方面有商标信息53条，专利信息117条，此外企业还拥有行政许可170个。
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来源：市场资讯
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