原子层沉积系统
厦门毅睿科技和厦门芯壹方强强联手的
自研核心产品：
全国首套微波等离子增强原子层沉积系统
1. 12寸晶圆，8寸晶圆以下兼容
2. 超高等离子密度（3倍ICP，CCP密度）
3. 超短单循环时间（Al2O3薄膜cycle time<15s)
4. 超优膜厚均匀度 （8寸<1%；12寸<2%）
5. 提供各种氧化物薄膜及氮化物薄膜工艺技术
6. 微波等离子ALD研究空白，超好发文章
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