国产光刻机传来好消息，突破关键技术，长春光机的技术有何特征？

近日，有媒体报道，国产光刻机再迎好消息，长春光刻机在物镜系统上也取得了一定的突破。这一消息表明我国在自研光刻机的道路上又前进了一步。

长春光机全称是长春光学精密机械与物理研究所，始建于1952年。先后参加了“两弹一星”“载人航天工程”等多项国家重大工程项目。芯片的生产制造离不开光刻机。这几年我们就是因为缺少光刻机，才一直被老美卡脖子，导致国内的芯片发展十分缓慢。为了解决这一问题，我国开始走上了自研光刻机的道路。

根据智慧芽数据显示，截至最新，长春光机及其关联公司在126个国家/地区中，共有7274件专利申请，从技术构成上来看，长春光机目前上述所有专利中，有15.70%的专利是和“光学元件的安装、调整装置或不漏光连接”相关，共计485件；有14.63%的专利是与“以采用光学方法为特征的计量设备”相关，共计452件；有12.62%的专利是与“其它光学仪器”相关，共计390件（详见图1）。

图1：长春光机专利技术构成

（备注：智慧芽全球专利数据库收录数据包括126个国家/地区中已经公开的专利，一般来说，专利从申请到公开可查询，需要4到18个月）