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应用于陶瓷钻孔,纳飞光电工业级皮秒激光器从容稳定

陶瓷具有耐磨损、耐腐蚀、耐高温、高绝缘、热膨胀系数小等独特优点,在冶金、机械、石化、电子、环保、医药等行业领域得到广泛应用。在电路板设计中,研发人员常用陶瓷基片代替常规的塑料基底以实现更好的导热效果,作为传感器、声表面波滤波器、微波射频等电信号传输的核心部件。

为了连接电子元件,往往需要在陶瓷基片上进行钻孔,传统的加工方式主要是机械加工,如采用高速旋转的细钻头加工。对于陶瓷的精密钻孔加工,尤其是小孔或微孔加工、螺纹加工等,细钻头已然无法满足要求,而且还存在成本高昂、效率低、周期长以及造成环境污染等问题,尤其是陶瓷材料的硬脆特性,容易导致产品良品率不高。

在陶瓷材料加工方面,激光已经有多年的应用,且随着激光技术的不断迭代,如今使用皮秒激光器加工陶瓷材料已经得到了深入的应用。在这方面上,纳飞光电研发的1064nm工业级皮秒激光器正是这个应用的理想工具,光束质量好(M²<1.3),聚焦光斑小、热影响小,稳定性高(<1%RMS),能完成更高质量的微孔加工,并保证孔的均匀性。

在使用皮秒激光器加工陶瓷材料时,激光可以实现无接触式加工,减少了因接触应力而对陶瓷带来的损伤,聚焦的高能激光束作用于陶瓷局部区域的能量高达108J/em2以上,加之陶瓷材料对长波长激光的吸收率很高,瞬间就可以使材料熔化蒸发,实现高效率加工。由于聚焦光斑小,配合超短脉冲(<10ps),其热影响区小,能够保证基片的稳定性不会受到钻孔过程时热输入的影响,避免热震龟裂的产生,可以达到精密加工的要求,而且激光的低电磁干扰以及易于导向聚焦的特点,方便实现三维及特殊面的激光加工。

大量的应用表明,通过激光打孔工艺的陶瓷基片更具有与金属结合力高、不存在脱落、起泡等优势,表面平整度高,大大提高了产品的良品率,更加符合电路板高密度互联,精细化发展的需求。

除了用于陶瓷材料的高精度打孔,皮秒激光还可以对塑料薄膜、半导体、金属膜和蓝宝石等材料进行高质量钻孔。近些年来,纳飞光电凭借先进的激光器技术以及深厚的激光微加工工艺,聚焦半导体、显示、5G等行业的激光应用,用先进激光设备为现代半导体制造赋能。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20230105A016J800?refer=cp_1026
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