上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)成立于2002年,是一家专注于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务的高新技术企业。以下是关于上海微电子的相关信息:
上海微电子的光刻机产品,如SSB500/10A、SSB225/10等,已被广泛应用于国内多家知名半导体制造企业,如中芯国际、华虹半导体等,推动了这些企业的技术进步和产品升级。
上海微电子正在全力研发193nm ArF浸没式DUV光刻机,目标直指28nm芯片制造,这标志着公司在光刻技术上的又一重大进步。此外,公司还获得了多项光刻机核心专利,这些专利的获得不仅强化了上海微电子在高端光刻设备领域的技术壁垒,更为全球半导体产业链注入强劲动能。