国产光刻机突破速度之快,已经让西方拦不住了。
根据可靠消息,中科院成功研发出了全固态的DUV光源技术。
用这项技术制造芯片,可以造出3nm芯片。
而且成果得到了国际光电工程学会的认可。
此前,光刻机巨头阿斯麦CEO曾说过,“美对华出口限制,将推动中国成功研发自己的技术”。
这下,预言成真了。
光刻机,这个被西方称为至高无上的神话,如今已到神话破灭的地步了。
如果说,光刻机是人类半导体工业皇冠上的明珠。
那么,阿斯麦就相当于握着最亮明珠的那个人。
光刻机的作用是在硅片上刻出集成电路图案,而光源是最关键的组成部分之一,其性能更是直接决定了制程的精度。
放眼全球,只有阿斯麦掌握了最先进的EUV极紫外光技术,可以制造7纳米以下制程的芯片。
由于EUV光刻机采用了极紫外光源,在芯片制作过程中,只需要一次曝光就能完成。
比DUV光刻机需要曝光多次相比,大大减少了步骤。
据悉,EUV光刻机有10万多个精密零件,90%来自超过40多个国家的5000多家供应商,而且各个都是顶尖水平。
比如,镜头是德国蔡司的,特殊复合材料是日本的,精密机床是瑞典的,控制软件跟光源是美国的。
如此庞大的技术体系,也造就了其不可复制的地位。
阿斯麦正是凭借“集全球最顶尖技术”这一法宝 ,能够在光刻机领域一骑绝尘。
更关键的是,由于阿斯麦的大股东是美国,因此在对华芯片出口管制方面,不得不言听计从。
但现在,西方估计要慌了。
因为中科院成功研发出了全固态的DUV光源技术。
别看只是DUV光源,但其背后的含金量不容小觑。
阿斯麦的EUV光刻机采用的光源,是一项名叫氟化氙(ArF)的准分子激光技术。
该系统不仅结构复杂,而且大量专利长期被美日企业垄断。
而这次,中科院另辟蹊径,使用固态晶体产生光源。
不同于EUV系统对极紫外线和高能等离子体光源的依赖,基于固态晶体激发的DUV光源,在一定条件下可实现媲美EUV精度的曝光效果。
并且,核心技术完全自主可控,绕开了西方相关的专利约束。
这意味着,西方想要通过光刻机的禁售,来锁死中国芯片发展,这条路已经行不通了。
除此以外,中科院这种方案让光刻结构更简单,整体体积可以缩小30%以上。
不仅让国产光刻机更容易建成,能耗方面也能下降很多。
更重要的是,一旦中国掌握了某种民用科技,相关设备的制造成本便会腰折,到时候清一色Made in China。
此前,如果想要生产5nm芯片,不好意思,要用到阿斯麦EUV光刻机。
而这款光刻机,目前来说还是对中国禁售的。
但现在,中科院全固态的DUV光源技术的突破,让生产3nm芯片变成可能。
西方就等着看好了,曾经一个个高不可攀的山头,注定会被我们攻克。
中国不仅将在高端芯片领域,逐步摆脱对EUV光刻机的依赖,更能以“性价比优势”重塑全球半导体市场格局。
阿斯麦CEO曾指出,物理定律在全世界都是一样的,中国没有理由造不出光刻机。
现在再回头看,真不愧是预言家。
虽然中科院这项突破还处在实验室阶段,离量产还有一定距离,但对芯片行业来说,无疑是一颗重磅炸弹。
正所谓,星星之火可以燎原。
如果中国在最尖端的光刻机上突破了,那么高端芯片变成白菜价,将指日可待。
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