
最近我收到了一家做传感器公司的东西,这个东西就像个铁疙瘩一样:

很精密,装盒子里面了
不知道有没有朋友知道这个是什么!(不知道也没有关系,我写此文正是阐述这个问题)~
说实话,老哥是看我搞振动测量才给的传感器,我这几天做功课:
石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和高精度惯导系统中,并可用于高精度的静态角度测量系统中。 同时在航空航天飞行器和船舶、坦克、军用车辆的惯性导航系统及控制系统中,也有着广泛的应用,比如可用于坦克,军用车辆等导航系统中。
是的,是的,搞起来了军工了!

还有航天科技

再看看,这个传感器再后面可以看到其实已经被全封装了,直接串口连接就行

复杂的调理电路已经被设计在内部了
但是对于这个传感器我还是像个新兵蛋子,所以我看了不少的论文来研究它。

对这篇文章影响最深的是这个
是后续的建模基础,后面会看到相关的内容。

这应该是最好的一张图了
石英挠性“力平衡/力反馈”加速度计的经典工作机理,可以把它理解成:
不是让摆片“自由摆动后测位移”,而是用闭环力矩把摆片“按回零位”,再用“需要多大力才能按回去”来反推加速度。
外壳/边框沿输入轴加速时,摆片(检验质量)因惯性“跟不上”,于是相对边框产生微小偏转;挠性梁提供恢复力/刚度、决定机械二阶特性。
摆片上的动电极 + 支撑件上的静电极 构成差动电容:向一侧偏 → 增大、 减小;差分量 就是位移/角度的电学表达。
把 变成电压/电流误差信号并放大。
伺服输出驱动线圈电流 ,在线圈/磁路中产生电磁力矩:方向总是抵消摆片偏转,目的是把摆片拉回平衡零位(所谓“力平衡”)。
闭环建立后,摆片只在零位附近微小摆动:非线性小,抗冲击/抗环境更好,线性度、稳定性都优于开环位移式方案。
这段话的关键句是:
反馈电流与加速度成正比。
工程上可以写成这种“力矩平衡”的关系(形式化理解):
左边 :加速度引起的等效惯性力矩
右边 :力矩器电磁反馈力矩
因此:
所以采集设备不用直接“测位移”,而是检测反馈电流大小来得到加速度。
前面那颗数字输出的石英挠性加计,本质就是把:差动电容检测,伺服放大/控制,力矩器驱动,以及后面的数字接口都封进了传感器内部。
所以看到的数字码(1 g ≈ 1,000,000 LSB)本质上就是“等效反馈电流/力矩”的数字化结果。
那这个设备其实是要闭环的,那就用上了新的模型,让我们继续。
先把石英挠性表头的机械动力学写成二阶系统:
:摆片转角
:转动惯量
:阻尼
:挠性梁刚度
:外加加速度
:力矩器产生的电磁反馈力矩
:加速度引起的等效力矩项
由此得到从力矩输入到角度输出的典型二阶传函:
并给出阻尼比关系。
这一步的意义:后面不管是做模拟闭环还是数字闭环,本质都在控制一个“二阶机械对象”。
把表头行为模型拆成三段:
用串联 RLC 来模拟表头二阶响应:
并通过一个比例环节让它与真实表头的二阶模型一致。
这相当于建立了“机械二阶系统 ↔ 电二阶系统”的等效桥。
论文用“压控电容/压控电阻”的电路结构,构造出: 减小、 增大随控制量变化,并且满足 为常数;这与真实石英表头差动电容的几何关系一致。
用这颗表头的典型规格(1 g = 1,000,000 LSB,1 kHz 输出、噪声主峰 ~±1000~1500 LSB、10 µg 级漂移)做了一个模拟输出。
采样率:1 kHz
时间:2 s
理论值:0 g → 理论 Code = 0
实际:叠加随机噪声(σ≈500 LSB)+ 10 µg 级慢漂

看到的是典型的“0 附近一团抖动”,峰峰值在几千 LSB 左右,对应几 mg 的短时噪声(和说明书 @1 kHz <2000 LSB 的量级一致)。
0–1 s:0 g
1–2 s:+1 g → 代码约 +1,000,000 LSB
2–3 s:-1 g → 代码约 -1,000,000 LSB

中间叠加同样的噪声和轻微漂移,你可以看到台阶上面有细小抖动:这基本就是在做 ±1 g 翻转标定时,在上位机上看到的曲线形态(当然真实器件还会有阶跃过渡边沿、闭环响应等细节)。

我对 0 g 原始输出做了一个 50 点滑动平均(50 ms),可以看到:
蓝色:原始数据,噪声很“毛刺”
黄色:平均后的结果,瞬时噪声被压下去,只剩 10 µg 级的慢漂轮廓
这也对应说明书里“0 g / 1 g 稳定性 ≤10 µg”那种概念:
先做时间平均降噪 → 看长时间慢漂,才会看到 µg 级别的稳定性。
它是在传统石英挠性加速度计的基础上,把原本偏模拟的测量/伺服链路做了数字化集成: C/V 转换 + 伺服闭环控制 等电路内置,把加速度直接变成方便接收处理的数字信号,并且声称结构可原位替换(对存量平台升级友好)。
可以把它理解为:
经典高可靠石英力平衡加计的“数字一体化版本”,把外部的模拟接口/伺服/采集复杂度吃进了传感器内部。

全数字闭环 / 全数字输出:你不需要再自己搭伺服模拟环路或做复杂的模拟调理,系统集成风险显著下降。
内置温补:对大家做系统级标定/温漂建模的压力会小一些,但仍要看你最终应用的温度动态和精度目标。
全国产化 / 军工品质:主要是供应链与可靠性诉求。
低功耗 / 高精度 / 体积小:适合多通道惯导/姿态/高可靠测量阵列的方向。
系统里原本需要一块“表头读出 + 伺服 + 采集”的板卡与线束,现在可以大幅缩减; 所以不仅器件外形更紧凑,整机体积也会明显变小。

可以有更高的安装密度
单页给了具体工作电源与电流:
工作电源:DC ±12 ~ ±15 V
静态电流:+电源 ≤11±1 mA;-电源 ≤6±1 mA。
按 ±15 V 估算静态功耗:
正电源功耗:
负电源功耗:
合计约:
考虑 ±1 mA 的范围,大约在 0.23–0.29 W 这个量级。

量程:±30 / ±50 / ±70 g(可选)。
表格里标为 1 kHz 级别;协议页又写了 1000 Hz / 10 Hz / 同步 三种输出模式;这说明它的数字链路/协议层支持不同速率配置。
偏值 ≤ 5 mg(H/M/L 都是这个级别)。
偏值温度系数:
H:≤ 20 µg/℃
M:≤ 50 µg/℃
L:≤ 100 µg/℃
偏值月稳定性:
H:≤ 10 µg
M:≤ 20 µg
L:≤ 50 µg
这说明厂家把长期与温漂指标作为分档核心。若是做高稳定惯导/精密姿态,优先看 H 档。
偏值重复性 ≤10 µg
0 g 稳定性 ≤10 µg
1 g 稳定性 ≤10 µg。
测试方法:多次上电 / 断电,在 0 g、25 ℃ 条件下,每次采一段时间,求每次的平均偏值,再算标准差 σ。
指标含义:
多次冷启动之后,0 g 输出偏置在各次之间离散程度有多大。
升级到 ≤10 µg,意味着多次上电,0 g 输出的“启动偏差”标准差不超过 10 µg(理想情况下大多数点会落在 ±30 µg 以内)。
测试方法:在 25 ℃、0 g 条件下连续通电 3 小时,记录数据,按说明书里的公式求偏值 σ。
指标含义:
同一次上电过程中,0 g 输出随时间漂移 + 噪声 的整体水平。
≤10 µg 相当于:在典型 3 小时时间窗内,0 g 输出的“慢漂 + 低频噪声”被控制在 ±10 µg 这个量级。
和 0 g 稳定性类似,只不过把加速度计翻转到 +1 g 状态,连续通电 3 小时算 σ。
含义:
在 1 g 位置下的输出随时间变化有多稳定(包含力矩器、放大链路等的长期稳定性)。
说明书标定因数:
1000000 ± 2000 LSB/g
也就是:
1 g ≈ 1 000 000 LSB
1 µg ≈ 1 LSB
那“≤10 µg”在数字量上就非常简单:
≤10 µg ≈ ≤10 LSB
所以:
偏值重复性 ≤10 µg → 多次上电时,0 g 均值在不同上电之间的散布大约在 ±几 × 10 LSB 以内;0 g / 1 g 稳定性 ≤10 µg → 单次上电 3 小时内,0 g 或 1 g 输出的慢漂/波动被压在 ±10 LSB 量级。(这个数值非常漂亮)
二阶非线性系数 K2:H/M/L 依次变宽。
带宽:≥100 Hz。
这非常关键:如果做振动/冲击宽带采集,100 Hz 可能会限制应用;但是做姿态/惯导/低频高稳定测量,这反而是合理取舍。
二阶非线性就是指:加速度计的输出里,除了“与加速度成正比的一次项”,还会出现一个与加速度平方成正比的误差项。
用公式最直观:
:传感器输出(可换算成 g)
:零偏
:一阶标度因数(理想线性)
:二阶非线性
:真实加速度
理想线性时:
如果有二阶项:
所以二阶非线性会导致:正负方向的平均值出现额外偏差,做翻转(+1g / -1g)校准时,可能看到轻微“不对称的残差”。

那张单页里写的类似:
这种单位非常关键:
表示:
当加速度为 (单位 g)时,二阶误差量级约为
假设 :
在 时:
在 时:
二阶非线性在小加速度时几乎可以忽略,但在大加速度时会快速放大。
石英挠性力反馈加计:是用差动电容测偏差 → 用力矩线圈把摆片按回零位 → 用“按回去要多大电流”来测加速度。可以看到是模拟系统,国产厂家天羿领航用全数字输出石英加计,在不改变传统产品外形尺寸与安装接口的前提下,通过“硬件集成+算法优化”实现了从“模拟”到“数字”的跨越;TTL 的串口设计也更好的对接各种系统。
