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阿斯麦(ASML.US)工厂火灾影响EUV光刻机出货!

CASMITA NEWS

近日,阿斯麦(ASML.US)德国柏林厂遭受火灾,引起全球关注,据该公司最新公布的评估结果显示,柏林工厂极紫外光(EUV)微影设备的零件生产区域影响严重,目前仍未恢复!

阿斯麦已在官网上公布了柏林工厂发生火灾的消息,从官网的信息来看,发生火灾的工厂,是阿斯麦的一座零部件工厂,生产晶圆台、网纹卡盘和镜像块等。发生火灾的这一工厂,原属于阿斯麦的供应商Berliner Glas,阿斯麦在2020年收购了这一公司,收购金额尚未披露,有报道称是花费了2.3亿欧元,也就是约2.36亿美元。

由于阿斯麦是全球重要的光刻机制造商,也是目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商,在全球多领域芯片短缺的背景下,阿斯麦光刻机的生产及交付至关重要,柏林工厂的火灾是否会影响到生产就备受关注。另外,由于光刻机由众多部件组装而成,任何部件生产的推迟,都可能影响到光刻机最终的生产和交付,进而影响到芯片厂商扩大产能。

ASML发布的消息指出,过去几日进行的初步评估显示,柏林制造基地部分生产线有遭大火毁坏,冒出的浓烟也部分影响了隔壁栋。这些受影响的建筑已顺利恢复一些生产作业,柏林厂区的其他建筑则未受影响,一直都能正常运作。

ASML仍在持续评估受损情况,目前的检视结果如下:

1.计量(Metrology)和检测(Inspection)产出计划未受影响,因为使用的零组件并非来自柏林厂。

2.深紫外光曝光设备(DUV)零件生产已获重启。虽然DUV零件受到一些干扰,但ASML应能设法解决问题,不会影响DUV的产出及营收计划。

3.关于极紫外光(EUV)微影设备,火灾影响了晶圆夹(wafer clamp)一部分生产区域,这是EUV系统的一项模块。ASML还在设法让这个生产区恢复正常,也在评估要如何调整产出计划、现场服务,让EUV客户可能受到的影响降至最低。

ASML预定2022年1月19日公布第四季和2021年财报,以及2022年的初步展望,届时也会针对这起意外公布更多细节。

ASML柏林厂主要制造微影系统需要的零组件,当中包括晶圆固定工作台、晶圆夹具、光罩吸盘、反射镜等。ASML在2020年并购德商Berliner Glas。

根据外媒报导,分析人士直指,若ASML的EUV设备出货量因为这场火灾缩减10%,则可能让全球微影设备供应量暂时减少8.4%,因为ASML拥有84%的市占率。

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  • 原文链接https://kuaibao.qq.com/s/20220110A0CFJO00?refer=cp_1026
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