【南大光电:ArF光刻胶有少量供货 尚未规模量产】财联社3月14日电,南大光电在互动平台表示,ArF光刻胶有少量供货,尚未规模量产。光刻胶扩产计划需根据产品订单情况确定。ArF光刻胶是先进集成电路芯片制造的关键材料,在193nm光源下有较高的透明性和抗刻蚀性等,可以广泛应用于各种高端IC芯片的生产制造。
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