四川能投华海清科交付首台12英寸封装减薄贴膜一体机

6月12日，四川能投华海清科股份有限公司(简称“华海清科”)首台12英寸封装减薄贴膜一体机Versatile–GM300出机发往国内头部封测企业，此产品是继成功推出量产机型减薄抛光一体机(Versatile–GP300)之后，华海清科再次在先进封装领域推出的关键核心产品Versatile–GM300，为公司业务多元化增长注入新动能。

封装减薄贴膜一体化设备Versatile–GM300，全机采用新型布局，可灵活实现薄型晶圆背面超精密研削与干式抛光应力去除功能，搭配晶圆贴膜机联机使用，可为8/12英寸晶圆安全可靠地提供从精密减薄、清洗干燥到粘贴料环、背膜剥离的全流程自动作业，满足高端封装领域的薄型晶圆生产工艺技术需求。

据了解，Versatile–GM300超精密晶圆减薄机，在技术上突破了超薄片减薄工艺技术壁垒，依托先进的厚度均匀性控制技术，可实现片内均匀性TTV<1.0μm，达到了国内领先和国际先进水平。

此外，该产品具有高精度、高刚性、工艺开发高灵活性等优点，可广泛应用于封装领域中的晶圆背面减薄、BG/DC倒膜等工艺。本次12英寸封装减薄贴膜一体机Versatile–GM300的交付将显著增强华海清科在封装设备市场的竞争力，并巩固其行业领导地位。(易林)