上海芯源微申请半导体工艺设备控制相关专利，提升半导体工艺设备的控制精度与稳定性

国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“半导体工艺设备的控制方法、装置、设备、介质和程序”的专利，公开号CN120595761A，申请日期为2025年08月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造工艺控制领域，提供一种半导体工艺设备的控制方法、装置、设备、介质和程序，该方法包括获取目标机台的配置文件和诊断时间段，提取N个工艺变量；通过指定工艺变量相关性，将工艺变量聚合为M个控制组（M＜N）；识别各控制组中的基础工艺变量，提取数据库中对应的基础工艺变量，并确定诊断时间段内的子时间段；基于各子时间段提取非基础工艺变量的非基础工艺变量；分析非基础工艺变量是否满足配置文件中的边界条件，更新闭环控制模型；将模型输出的比例增益与偏置项反馈至控制模块，以优化其后续控制响应。

天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目7次，专利信息48条，此外企业还拥有行政许可59个。

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来源：市场资讯