新毅东科技申请光刻机突发故障处理方法及光刻机系统专利，大幅度缩短异常响应时间

国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“光刻机突发故障处理方法及光刻机系统”的专利，公开号CN 120610449 A，申请日期为2025年08月。

专利摘要显示，本申请提供了一种光刻机突发故障处理方法及光刻机系统，方法包括：分析决策引擎接收各监测模块实时采集的第一监测数据，根据第一监测数据确定光刻机系统是否异常，若是，则向传输子系统和曝光子系统发送暂停指令及数据存储指令，存储模块将工作数据存储至存储模块中的非易失存储单元以及离线存储单元，并在存储完成后向分析决策引擎发送存储完成信息，分析决策引擎响应存储完成信息，向电源模块发送断电指令，以使得电源模块停止供电。监测模块实时采集数据，从而可以及时获取光刻机的异常状态，使得分析决策引擎及时触发数据子系统暂停、数据存储以及关机保护的动作，大幅度缩短异常响应时间，降低异常扩大风险，保证设备安全。

天眼查资料显示，新毅东（北京）科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3589.4516万人民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目63次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息131条，此外企业还拥有行政许可7个。

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来源：市场资讯