长江存储申请静电卡盘等相关专利，提供一种含相交晶圆承载面和对应吸附电极的静电卡盘

国家知识产权局信息显示，长江存储科技有限责任公司申请一项名为“静电卡盘、反应腔室和半导体处理设备”的专利，公开号CN120600684A，申请日期为2024年03月。

专利摘要显示，本公开提供了一种静电卡盘、反应腔室和半导体处理设备，所述静电卡盘包括：壳体，所述壳体包括第一晶圆承载面和与所述第一晶圆承载面相交的至少一个第二晶圆承载面；位于所述壳体中的第一吸附电极和至少一个第二吸附电极；所述第一吸附电极对应于所述第一晶圆承载面，每个所述第二吸附电极对应于一个所述第二晶圆承载面。

天眼查资料显示，长江存储科技有限责任公司，成立于2016年，位于武汉市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12469608.0404万人民币。通过天眼查大数据分析，长江存储科技有限责任公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1416次，财产线索方面有商标信息934条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可995个。

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来源：市场资讯